日本ballwave微量水分計Falcon Trace 系列
超微量水分計“Falcon Trace"是使用球型SAW傳感器定量測量工業氣體和天然氣中極微量水分子的設備。
響應速度極快，可實時監測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項。氣體中的水濃度可以精確測量到 1 ppb (1/10 億) 的水平。
球SAW傳感器測量原理
① 表面聲波（IDT；Inter Digital Transducer）產生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道線上循環，對所施加的敏感膜的微小變化作出
反應 ③ 反應后表面聲波的信號變化 異形電極檢測
④ 通過多輪積分微小變化實現高靈敏度傳感。
案例研究/應用
半導體制造設備制造商
（主要是前端工藝）電池制造商
及其材料制造商的制造過程工業氣體制造商
產品陣容
響應速度極快，可在數秒內監測含水量變化，有助于穩定半導體和二次電池制造過程中的產品良率和質量。
無需重新配置每種背景氣體，當天然氣等成分發生波動時，可以同時檢測。另一個主要優點是傳感器材料是水晶球，這使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。
FT-700WT
實現“超"微量水分測量的系列機型
測量范圍從露點 -110°C 到 -20°C
除露點測量外，背景氣體*成分（相當于平均分子量）也以 % 水平檢測
* 背景氣體：要測量的氣體的含水量用這一裝置覆蓋從天然氣到高純度氣體
應用示例
工業氣體制造過程/出貨時的質量控制，半導體制造材料氣體純度控制
FT-400WT
可在中等范圍內進行實時測量的中等型號
在 1 秒內測量從 -90°C 的露點開始的變化，非常適合實時控制系統測量
也可以更改為設備內置類型*
* 請聯系我們
應用示例
一般生產線的質量控制，電池制造過程的水分含量監測
FT-300WT
在保持高速響應性的同時強調便攜性的小型通用型號
1秒內測量-70°C露點的變化，支持實時測量系統
輕巧緊湊，重量僅為 2 公斤，便于攜帶到目標區域
即使在因電池驅動而沒有商用電源的地方也可以使用
應用示例
干燥箱、空間水分分布、一般氣體
日本ballwave微量水分計Falcon Trace 系列
規格詳情
與其他公司產品的比較
